气体输送管道广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产PDF显示器面板生产等微电子领域,该系统输送的气体主要有高纯大宗气体(高纯氧、高纯氢、高纯氦、高纯氢等气体)、特气(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体),以上气体在下文中简称“超净气体”。

　　气体输送管道施工方法

　　在管道安装前，应绘制管道轴侧图，标明管道的长度和焊口的详细位置。绘图时应多考虑焊接的操作空间，并尽量着气流的方向进行安装。为了防止微粒污染，管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹，在切割的过程中用高纯氩气进行吹扫以避免污染。切割完后，用专用刮削工具将端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用专用工具将未端平整。焊接接口的好坏将直接影响到焊缝的质量，从而影响整个配管安全。

　　为了确保焊缝质量，正式施焊前以及焊接过程中任何一参数(位置、气流、管径等〕发生变化，都必须做焊接试验《即样品)，样品的焊接记录也应登记在每天的日常焊接记录上面，经检验合格后方可正式施焊，焊缝成型必项均匀、美观.不允许有未焊透、未熔合、焊面内凹、气孔、错边等缺陷。预制好的管道附件的两端必须用洁净的塑料盖子连同塑料薄膜起封好，并用洁净的胶带扎紧，以减少大气对管道的污染。

　　在现场施工时，周围的环境会对洁净管道有污染的危险性，因此应尽可能地在临时净化间内施焊，减少现场焊接点的数量。在全自动脉冲氩弧焊焊接过程中，如果管内残留有氧气或水分，则在焊接部位会形成氧化膜，变成微粒发生源，所以，在焊接过程中及焊接前后，用高纯氮气充分置换管内的氧气或水分是非常重要的。焊接保护气体经过0.05um过滤器过滤。现场每完成好一部分管道，两端阀门必须关紧(如没有阀门，管内就应一直充着氩气保护)在管道施工过程中难免会有微粒进人管道系统内，管路系统的吹扫是一个必不可少的过程;

　　高纯气体管道用高纯氮气进行吹扫，先吹主干管，其次吹支干管.最后吹扫各支管。吹扫时间根据气体品质不同要求确定，直到测试纯度合格为止。非氮气管道，用氮气吹扫合格后进行置换，然后再次吹扫，直至置换后的气体达到纯度要求为止。根据气体工艺要求应做各种测试，包括管道系统总体对外泄漏试验、总体对内泄漏试验、颗粒物、露点、含氧量测试氦检泄漏试验等。管道经测试合格后管内通入高纯氮气进行保护。

　　对于高纯气体输送系统的洁净度控制，贯穿于系统设计、施工、验收、使用各阶段，在设计阶段需作周密考虑，从系统配置上保证减少污染。在施工阶段，从施工开始时即必须对微粒进行严密管理，在整个施工过程中每道工序和流程中，需采取防止微粒污染的措施，才能把微粒污染控制到最小限度，满足高纯气体对管路输送系统的要求。