高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此，要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。

　　洁净室气体管道安装要求

　　1.外观的检查工作

　　(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。

　　(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。

　　(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破裂。

　　(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行下列外观检查:

　　1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

　　2)无锈蚀、蚀斑等现象。

　　3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。

　　4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否良好。

　　5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等级证书和资质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。

　　6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

　　7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

　　8)橡胶、塑料等非金属垫片，应当质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损、皱纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

　　2.配管的准备工作

　　(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

　　(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

　　(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

　　(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

　　(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

　　(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

　　3.金属管道的连接

　　(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

　　1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

　　2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

　　(2)连接方式:

　　1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

　　a不锈钢管的焊接:采用氩弧焊，同时管内通入同等纯度的氩气，防止焊接部位氧化。

　　b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

　　2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

　　3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

　　(3)管路附件的使用:

　　1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

　　2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。