高纯气体供应目前主要有三种输送形式

　　1.采购气体钢瓶，用气体钢瓶供气。某个项目，采用何种方式，主要根据公司项目的生产规模及气体耗量，和工厂所在城市的气体市场供应等经过技术经济比较后确定。

　　2.现场制做气，管道输送供气方式

　　3.外购液态气体，气化后管道输送供气方式

　　4.管道阀门连接高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR和进口件采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10-9级的高纯气输送系统，而进口件则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。

　　5.管道安全阀连接安全阀是启闭件受外力作用下处于常闭状态，当设备或管道内的介质压力升高超过规定值时，通过向系统外排放介质来防止管道或设备内介质压力超过规定数值的特殊阀门。安全阀属于自动阀类，主要用于锅炉、压力容器和管道上，控制压力不超过规定值，对人身安全和设备运行起重要保护作用，注安全阀必须经过压力试验才能使用。

　　6.管道针型阀连接针型阀形比其他类型的阀门能够耐受更大的压力,密封性能好,所以一般用于较小流量较高压力的气体密封.针型阀与压力表配合使用是最合适的了.一般的针型阀形都做成螺纹连接。

　　7.管道卡套接头连接卡套接头即使是同一厂家一批货，这几种接头体上锥形孔的深度往往不相同，结果就造成了泄漏，而此问题往往被忽视。正确的做法是，管子一端用什么样的接头体连接，即对应的连接端则用相同类型的接头预装，这样能最大限度地避免出现泄漏问题。卡套连接安装方便可以提高工作效率现在各行各业用得比较广泛，比焊接稳定性差一点。

　　8.螺纹连接螺纹连接对大宗气体，且纯度要求不高的气体管道，当采用镀锌钢管时，采用螺纹连接。螺纹连接的密封材料采用聚四氟乙烯密封带，不得采用传统的油麻。密封带缠绕要得当。不能缠绕的太厚、过长，缠绕太厚或缠绕过多超出管螺纹端头坡口的话，在螺纹旋紧时，密封带会被丝咬切下，落人管道内形成较大的污染物，因此端口螺纹从坡口始，留出2-3个凸牙不缠绕密封带是必要的。

　　9.对焊连接对于要求纯度很高的管道，采用内壁无瘢痕的对接焊。高纯氩气保护焊。

　　10.承插焊对于纯度要求相对低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊由于气体残留空间比较大。