电子特气管道系统，简称特气系统由存储、输送、分配、控制四类组成，其中“存储”是指气源部分(特气柜GC)，“输送”指配管方面(一般用双套管)，“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB)，“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。是一种广泛应用于半导体、集成电路、光纤、太阳能电池等微电子行业的气路系统。

　　电子特气管道系统氦检漏方法种类：

　　特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

　　1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

　　2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

　　3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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　　电子特气管道系统氦检漏检测规定：

　　1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

　　2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

　　3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

　　4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

　　电子特气管道系统氦检漏注意事项：

　　氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。